[AI&칩 워] 7회 CNT
[AI&칩 워] 7회 CNT 펠리클: 에스앤에스텍·어썸레이[AI&칩 워] 인공지능(AI) 반도체 패권을 놓고 빅테크 기업들이 벌이는 ‘칩 워(Chip War)’를 파헤칩니다. 반도체 산업에서 펼쳐지는 뜨거운 소식을 독자분들이 알기 쉽게 분석해 드리는 심층 분석 연재물 입니다.전 세계 반도체 업계는 nm(나노미터) 전쟁을 벌이고 있습니다.2nm(나노미터) 이하의 선단 반도체 공정에서는 극단적으로 미세한 회로 패턴이 필요합니다. 이때 사용하는 기술이 바로 극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 노광 기술인데요.EUV는 파장이 13.5nm에 불과한 빛을 이용해 반도체 웨이퍼 위에 회로를 새기는 데 필요한 장비입니다. 하지만 이처럼 짧은 파장의 빛은 그만큼 먼지나 오염 입자에도 극도로 민감합니다. 0.1마이크로미터(μm, 100nm) 수준의 입자 하나만 있어도 결함이 발생해, 칩 전체 수율이 떨어질 수 있기 때문입니다.노광 장비 입자 유입 원천 차단 ASML의 극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 장비 ASML의 ‘하이 뉴메리컬애퍼처 극자외선(High-NA EUV)’ 장비노광 장비 내부에서 입자 유입을 원천 차단하는 부품이 필요한데, 그것이 바로 ‘펠리클(Pellicle)’입니다.펠리클은 노광 마스크를 보호하는 얇은 막으로 보시면 이해가 쉽습니다. 일반적으로 노광 마스크 위에 얇은 투명막을 씌워 먼지를 차단하고, 마스크 자체에는 입자가 닿지 않도록 합니다.하지만 문제는 EUV는 기존보다 훨씬 높은 에너지를 가진 빛이라는 점입니다. 종전 불화 아르곤(ArF)공정에서는 무정형 불소 고분자나 실리콘계 고분자로도 펠리클을 만들 수 있었는데요. EUV 광은 그런 일반 소재들을 녹이거나 투과하지 못하거나 변형시켜버립니다. 때문에 EUV용 펠리클은 열에도 강하고, EUV 광을 거의 흡수하지 않으며, 기계적으로도 안정적인 신소재여야 합니다.오늘날 ASML과 같은 EUV 업체가 고민에 빠진 이유입니다.반도체 생태계는 거대합니다. 여기서 노광 장비만 떼어 놓고 보면 공급망 사슬은 이렇습니다. 파운드리 업체 → EUV 업체 → 펠리클 업체 → 펠리클 멤브레인 기[AI&칩 워] 7회 CNT 펠리클: 에스앤에스텍·어썸레이[AI&칩 워] 인공지능(AI) 반도체 패권을 놓고 빅테크 기업들이 벌이는 ‘칩 워(Chip War)’를 파헤칩니다. 반도체 산업에서 펼쳐지는 뜨거운 소식을 독자분들이 알기 쉽게 분석해 드리는 심층 분석 연재물 입니다.전 세계 반도체 업계는 nm(나노미터) 전쟁을 벌이고 있습니다.2nm(나노미터) 이하의 선단 반도체 공정에서는 극단적으로 미세한 회로 패턴이 필요합니다. 이때 사용하는 기술이 바로 극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 노광 기술인데요.EUV는 파장이 13.5nm에 불과한 빛을 이용해 반도체 웨이퍼 위에 회로를 새기는 데 필요한 장비입니다. 하지만 이처럼 짧은 파장의 빛은 그만큼 먼지나 오염 입자에도 극도로 민감합니다. 0.1마이크로미터(μm, 100nm) 수준의 입자 하나만 있어도 결함이 발생해, 칩 전체 수율이 떨어질 수 있기 때문입니다.노광 장비 입자 유입 원천 차단 ASML의 극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 장비 ASML의 ‘하이 뉴메리컬애퍼처 극자외선(High-NA EUV)’ 장비노광 장비 내부에서 입자 유입을 원천 차단하는 부품이 필요한데, 그것이 바로 ‘펠리클(Pellicle)’입니다.펠리클은 노광 마스크를 보호하는 얇은 막으로 보시면 이해가 쉽습니다. 일반적으로 노광 마스크 위에 얇은 투명막을 씌워 먼지를 차단하고, 마스크 자체에는 입자가 닿지 않도록 합니다.하지만 문제는 EUV는 기존보다 훨씬 높은 에너지를 가진 빛이라는 점입니다. 종전 불화 아르곤(ArF)공정에서는 무정형 불소 고분자나 실리콘계 고분자로도 펠리클을 만들 수 있었는데요. EUV 광은 그런 일반 소재들을 녹이거나 투과하지 못하거나 변형시켜버립니다. 때문에 EUV용 펠리클은 열에도 강하고, EUV 광을 거의 흡수하지 않으며, 기계적으로도 안정적인 신소재여야 합니다.오늘날 ASML과 같은 EUV 업체가 고민에 빠진 이유입니다.반도체 생태계는 거대합니다. 여기서 노광 장비만 떼어 놓고 보면 공급망 사슬은 이렇습니다. 파운드리 업체 → EUV 업체 → 펠리클 업체 → 펠리클 멤브레인 기업. 사슬 가운데 하나만 이상해도 첨단 반도체 제조는 불가능에 가깝습니다.특히 오늘날엔 ‘하이
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